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OMD-675-1 PPB氧气分析仪在半导体保护气的应用

日期:2024-10-04 16:21
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摘要:半导体工艺需要采用纯度达99.999%以上的氮气、氩气作为保护气体。高纯气体为载气和保护气应用于彩电显像管、大规模集成电路、液晶及半导体硅片等生产过程。因为氮基气氛可以防止金属表面在加热过程中氧化。

OMD-675-1在线氧气分析仪0-1ppm应用:

-石油化工、电子电力                       -化学反应分析

-空分高纯氧气、微量氧气监测         -空气分离和液化

-冶金、半导体、航天**行业         -核燃料处理和同位素分离

-制氢、制氮、净化、干燥设备         -纯气体碳氢化合物流路监测

-初级液体给料和可燃液体保护气层的检测

-气态单体过程分析:氯乙烯、丙烯、丁二烯、乙烯、橡胶、叔丁胺等

OMD-675-1在线氧气分析仪0-1ppm参数:

精 度:<1%

量程范围可选:

0-1ppm,0 - 10ppm, 0 - 100ppm, 0 - 1000ppm,  0 - 25%

量程自动或者手动调节

应 用:对惰性气体,碳氢气体,He,H2,CO2中的氧含量进行100ppb-1%分析 

报 警:2路继电器报警输出 

标 定:使用浓度大约为80%量程经过认证的标准气体 

补 偿:压力和温度 

接 口:1/4"接头 

控 制:量程选择开关,防水键,标定及系统功能 

显 示:大屏幕液晶背光显示;分辨率:0.01ppm;
流量:0.23-2.5 L/M,推荐流量:1 L/M 

线 性:>.995超过所有量程 

压 力:进样0-3Mpa;排空-大气压 

电 源:9-28VDC 

响应时间:90%满量程为15秒 
样气系统:无,如图可选H2S脱除系统 
灵 敏 度:<0.5%满量程 
传感器型号:

 (TO2-1x):微量ppm;(TO2-2x)微量ppm当CO2H2S>0.5%时,免维护

传感器寿命:24-36个月,25℃ 
 

输 出:4-20mA ,RS485MOUBUS
 

温度范围:5-45℃;TO2系列传感器﹞;-20-45℃﹝PO2系列传感器﹞ 
 

质 保 期:12个月,包括分析仪和传感器 
样气取样部分:-四通阀、针阀、流量计、快速吹扫旁路、不锈钢卡套接头

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OMD-501D;;OMD-525;OMD-625;OMD-677;OMD-675\EMD-482\EMD-485;OMD-150-1

便携氧气分析仪:OMD-480、OMD-480P;OMD-580;OMD-640

硫化氢分析仪;H2S-725;H2S-150;H2S-150-NG;H2S-780/在线

和便携氧气*小测量0-1ppm.

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